奥客彩网奥客彩网-澳发彩票手机app下载-澳发彩票网8icc-澳发彩票平台-澳发彩票官方网站

伺服压机厂家

新闻分类

产品分类

联系我们

东莞鑫广源机械设备有限公司

联系人:余先生

手机:13528428929

电话:0769-81223876

Q Q:2878098853

邮箱:2878098853@qq.com

网址:janautomotor.com

地址:东莞市塘厦镇东深南路119号2栋109室

半导体尖端设备之光刻机知识

您的当前位置: 首 页 >> 新闻咨询 >> 行业动态

半导体尖端设备之光刻机知识

发布日期:2018-10-12 作者:ANDY 点击:

光刻机

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);

在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程。

概要

生产集成电路的简要步骤:

· 利用模版去除晶圆表面的保护膜。

· 将晶圆浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。

· 用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。

其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。

一片晶圆可以制作数十个集成电路,根据模版曝光机分为两种:

· 模版和晶圆大小一样,模版不动。

· 模版和集成电路大小一样,模版随曝光机聚焦部分移动。

其中模版随曝光机移动的方式,模版相对曝光机中心位置不变,始终利用聚焦镜头中心部分能得到更高的精度。成为的主流

主要厂商

曝光机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。因此曝光机价格昂贵,通常在 3 千万至 5 亿美元。

· ASML

· 尼康

· 佳能

· 欧泰克

· 上海微电子装备

· SUSS

· ABM, Inc.

品牌

光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常在十几纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有7000万美金的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikonintel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。

位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机,形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机,分辨率通常在数微米以上。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌。

220247350308106420 - 副本.jpg

本文网址:http://janautomotor.com/news/384.html

相关标签:伺服压力机,伺服压装机,伺服压床

最近浏览:

在线客服
分享 一键分享
欢迎给我们留言
请在此输入留言内容,我们会尽快与您联系。
姓名
联系人
电话
座机/手机号码
邮箱
邮箱
地址
地址
澳发彩票网8icc-澳发彩票官网-8icc奥法彩票-澳发网 767210澳门资料大全-767210澳门开奖记录-澳门开奖网00853kj 00853tkcom全年图库-00853tkcom开奖结果-00853kj晚上开奖直播-00853tkcom开奖直播现场-00853tkcom这个是开奖网站 1877彩票-1877.cc彩票-1877彩票数字彩购彩 白姐高手论坛资料大全-白小四肖必肖四不像-香港白小姐开奖结果 九龙老牌图库彩图大全-香港九龙官方网站0820-九龙心水8112cc-0820香港九龙心水论